Dépôt de couches minces optiques

Publié le 25 mai 2022 – Mis à jour le 29 janvier 2024

Chambre de dépôt assisté par ionisation située au LMA pouvant traité des optiques allant jusqu'à 81cm, en moyenne série. ¨Plateforme Nationale du CNRS.

Bandeau IADC
Bandeau IADC


La Chambre de Dépôt par évaporation Assistée par faisceau d’Ions, IADC, est un dispositif du Laboratoire des Matériaux Avancés (LMA) qui permet de répondre à une large variété de demandes de fabrication de grandes optiques (jusqu’à des dimensions de 81 cm), en particulier dans le domaine de l’astronomie classique.
Le LMA est un laboratoire, labellisé "Plateforme Nationale" de l'Institut de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3). Il est dédié à la fabrication d'optiques parmi les plus performantes au monde, destinées aux recherches scientifiques les plus avancées. Il fabrique notamment des miroirs ultra-réfléchissants pour les expériences de détection d'ondes gravitationnelles VIRGO (UE), LIGO (USA), et KAGRA (Japon).

La raison d’être de l’IADC est de pouvoir produire également, en petite et moyenne série, des optiques d'un niveau moins avancé mais nécessitant néanmoins des spécifications très pointues.

Caractéristiques techniques

Capacités du bâti de dépôt
Le bâti IAD (bâti commercial de chez VPTec) est une chambre sous vide de 1.34m*1.34m*1.34m, utilisant la technique d’évaporation assistée par faisceau d’ions. Il est équipé de 2 sources d’évaporation par bombardement électronique Telemark (EBG), de 2 sources d’évaporation par effet Joule, d’une source d’assistance KRI, de 3 masques pour assurer l’uniformité des dépôts, d’un contrôle quartz pour le contrôle de l’épaisseur in situ, de 2 lampes chauffantes, d’une pompe roots multiétage ADIXEN et d’une pompe cryogénique CT-20-HP pour assurer le pompage. Un contrôleur IC6 (INFICON) assure le monitoring de l’épaisseur et le contrôle des paramètres de dépôt des sources EBG. Les optiques peuvent être traitées avec un mouvement planétaire ou en rotation simple.
 
Spécifications pour la réalisation d’optiques par dépôt de couches minces IAD
  • Dimensions des optiques à traiter : jusqu’à un Ø de 810mm et un poids de 50kg,
  • Nature des optiques : lentille (concave, convexe, asphérique), substrat plan…,
  • Dépôt d’oxydes : SiO2, Ta2O5…,
  • Types de traitements réalisables : miroir, antireflet, dichroïque…,
  • Angles d’incidence des optiques traitées : 0 à 45°,
  • Gamme spectrale : de 380nm à 2400nm,
  • Caractérisation : caractérisation directe de l’optique en transmission (ex-situ) en plus de la caractérisation des témoins.